Идея /proc возникла в восьмой версии Unix, реализованной Томом Дж. Киллианом, а ее производство ускорилось, когда компания Bell Labs (включая многих из тех, кто изначально разрабатывал Unix) создала Plan 9 — исследовательскую операционную систему, которая вывела абстракцию файловой системы на совершенно новый уровень (en.wikipedia.org/wiki/Plan_9_from_Bell_Labs).